1、MXQ‑M‑ES6212‑285DF 六轴精密电动位移台，集成 X/Y/Z 直线与 θx/θy/θz 三维姿态调节。机身采用黑色阳极氧化铝合金，台面 38×45mm，整机厚度 244.5mm，最大负载 0.5kgf。
2、采用交叉滚柱导轨搭配 C5 级滚珠丝杆传动，配置东方五相步进电机。直线轴重复定位精度 ±1μm，旋转轴可达 ±0.005°；X/Y 轴行程 ±35mm，Z 轴 ±10mm，旋转轴 ±8°。配备原点及限位传感器，DC24V NPN 常闭信号输出，便于上位机联动控制。适用于光器件耦合、芯片对准、探针测试等精密工艺场景。
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参数项 |
规格内容 |
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型号 |
MXQ-M-ES6212-285DF（L/R） |
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移动方向 |
X、Y、Z、θx 轴、θy 轴、θz 轴 |
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主体材质 |
铝合金（阳极氧化黑色） |
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负载安装台面大小 |
38 × 45 mm |
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主体厚度 |
244.5 mm |
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驱动方式 |
X、Y 轴：42 东方五相高分辨率步进；Z 轴：28 东方五相高分辨率步进；θx、θy、θz 轴：28 东方五相步进 |
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导向部件 |
交叉滚柱导轨 |
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驱动部件 |
滚珠丝杆（导程 1，C5 级） |
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单向定位精度 |
X、Y、Z 轴：10 μm；θx、θy、θz 轴：0.03° |
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重复定位精度 |
X、Y、Z 轴：±1 μm；θx、θy、θz 轴：±0.005° |
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行程 |
X、Y 轴：±35 mm；Z 轴：±10 mm；θx、θy、θz 轴：±8° |
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负载 |
0.5 kgf |
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最大速度 |
X、Y、Z 轴：10 mm/sec；θx、θy、θz 轴：10.5°/sec |
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平行度 |
0.1 mm |
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传感器 |
CW+CCW+ORG（NPN 输出常闭信号 DC24V） |
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