龙门式双视角观察系统专为光电子芯片耦合、器件对准、光纤调试等精密微操作场景打造,集成双路高清视觉观测、多维高精度微调平台与稳固龙门承载结构,可实现上下双视角同步实时观测,直观监控器件对位全过程,广泛应用于硅光芯片、光器件、光子集成芯片封装调试、光纤耦合测试等研发与工艺实验场景。整套设备支持个性化定制,可根据客户实验需求灵活调整硬件配置与行程规格。
1、双视角同步观测:上下两路视觉同时成像,分屏实时监控,规避单视角观测盲区,降低对位失误
2、微米级精密调节:多规格微调平台可选,平移、角度多级微调,满足芯片、光器件高精度耦合需求
3、可调高清视觉系统:连续变倍镜头,配套环形光源,图像测量、录制功能齐全,便于实验数据留存
4、模块化、可定制化:龙门行程、平台规格、夹具样式均可按需调整,适配多样化实验与产线需求
5、高刚性机械结构:龙门框架搭配光学平台底座,抗振动能力强,长时间调试稳定性优秀
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设备分类 |
设备组件 |
参数说明 |
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视觉模块 |
摄像机 |
高分辨率高清相机,支持预览、录像、拍照、图像对比、测量、画线功能 |
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高清镜头 |
变倍范围 0.6-5.0X ,重复精度 1μm。标准 C 接口 |
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镜头四维调整机构 |
快速调整镜头位置、对齐影像;燕尾槽滑台实现三自由度调整对焦,调整行程:±30mm(可定制) |
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照明光源 |
环形 LED 灯源,用于镜头照明 |
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显示器 |
24 寸高清 HDMI 显示器,配合图像分割器使用 |
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龙门架 |
龙门架 |
高度 > 280mm (可定制)行程:350mm (可定制) |
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六轴高精度微调架 |
移动量 |
XYZ轴:粗调:±6.5mm; 微调:±0.3mm; θXθY轴:±2.5°;θZ轴:±4° |
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解析度 |
XYZ轴:粗调:10um / 刻度; 微调:0.5um / 刻度; |
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芯片 4 轴调整架 |
行程 |
XY轴:13mm;Z轴:10mm; |
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分辨率 |
XY轴:10μm / 刻度;Z 轴: 10μm / 刻度; R 轴:0.05°; |
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角度 |
R 轴:360°连续可调 |
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光纤夹具 |
光纤夹具 |
根据客户需求配备合适的光纤夹具 |
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* 产品支持个性定制,可根据客户需求调整配置 |
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