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性能参数（Performance parameters） |
参数详情 |
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行程范围（Travel range） |
XYZ 轴：100mm × 100mm × 60mm |
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最大速度（Maximum speed） |
XYZ 轴：500mm/s |
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加速度（Acceleration） |
XYZ 轴：1g |
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速度稳定性（Speed stability） |
XYZ 轴：±0.1mm/s |
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重复定位精度（Repetitive positioning accuracy） |
XYZ 轴：±100nm |
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定位精度（Positioning accuracy） |
XYZ 轴：±250nm |
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静态抖动（Static jitter） |
XYZ 轴：±20nm |
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微步测试（Micro step testing） |
50nm 和 100nm 两种移动步距，间隔 20ms，采集波形图 |
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直线度（Straightness） |
XYZ 轴：±1.5μm |
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平面度（Flatness） |
XYZ 轴：±2μm |
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负载（Load） |
XY 轴：12kg Z 轴：8kg |
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组装正交性（Orthogonal assembly） |
XY 组装正交性：< 5 arcsec |
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YZ 组装正交性：< 5 arcsec |
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驱动供电方式（Drive power supply mode） |
10-80VDC 输入 |
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滑台本体尺寸（Slider body size） |
长宽高：客户定制 |
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