全电动硅波导耦合测试系统面向硅基光电子芯片端面耦合测试场景，搭载高精度电动六轴调整平台、多视角 CCD 视觉监控与光功率实时反馈模块，实现光纤与硅波导芯片自动化精密对准。
系统采用V槽夹持固定光纤、真空吸附固定硅波导芯片，依托多路 CCD 完成光纤姿态预调，保障光纤与波导空间平行；通过输入端、输出端迭代扫描寻优，以输出光功率为闭环反馈，精准锁定最优耦合点位，有效获取最高耦合效率。
设备全程电动调节，大幅减少人工操作误差，耦合流程标准化，适配硅光芯片研发验证、样品耦合损耗测试，是光子集成实验室、硅光工艺测试的核心装备。
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设备组件 |
产品链接 |
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独立观察系统 |
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六轴自动滑台调芯 |
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组装测试夹具 |
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中间吸附芯片台 |
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