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分类 |
参数项 |
参数说明 |
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台体规格 |
样品台尺寸 |
6 英寸 / 8 英寸 |
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水平旋转 |
可 360 度旋转，可微调 15 度，精度 1 度带角度锁死装置 |
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X-Y 移动行程 |
150mm |
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X-Y 移动精度 |
5 微米 |
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样品固定 |
真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 |
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针座平台 |
U 型针座平台，最多可放置 10 个探针座 |
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背电极测试 |
样品台电学独立悬空，可接背电极 |
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光学系统 |
显微镜类型 |
单筒显微镜 / 体式显微镜 / 金相显微镜 |
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放大倍率 |
16X-200X/20X-4000X |
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移动行程 |
水平 360 度旋转，Z 轴行程 50.8mm |
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光源 |
外置 LED 环形光源 / 同轴光源 |
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CCD |
200 万像素 / 800 万像素 / 4K 像素 |
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探针座 |
X-Y-Z 移动行程 |
12mm*12mm*12mm |
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移动精度 |
10 微米 / 2 微米 / 0.7 微米 / 0.5 微米 |
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吸附方式 |
磁力吸附 / 真空吸附 |
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线缆 |
同轴线 / 三轴线 / 射频线 |
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漏电精度 |
10pA/100fA/10fA |
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固定探针 |
弹簧固定 / 管状固定 |
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接头类型 |
BNC / 三轴 / 香蕉头 / 鳄鱼夹 / 接线端子 |
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针尖直径 |
0.5 微米 / 1 微米 / 2 微米 / 5 微米 / 10 微米 / 20 微米 |
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