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参数项 |
参数值 |
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型号 |
M-UMS130-60X |
M-UMS130-110X |
M-UMS130-160X |
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电机类型 |
三相无铁芯电机 |
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光栅类型 |
增量式光栅0.1um(可选最高1nm光栅,绝对式选配) |
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电机推力 |
额定40N 峰值90N |
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加速度(空载) |
3G |
2.5G |
2G |
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限位类型 |
机械、光电、软件(三重限位保护) |
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材质 |
铝合金6061-T6(可选不锈钢) |
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行程 mm |
60 |
110 |
160 |
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定位精度 um |
±3um(校准±0.5um) |
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重复定位精度 um |
±0.1um(±50nm 对应5nm以上光栅) |
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最大速度 mm/s |
300mm/s |
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最大负载 kg |
6 |
8 |
12 |