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参数项 |
参数值 |
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型号 |
MABVT-Z20 |
MABVT-Z38 |
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电机类型 |
音圈电机 |
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光栅分辨率 |
sin\cos 4.88nm（可选其它更高分辨率） |
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电机推力 |
持续27N/峰值119N |
持续45N/峰值192N |
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最小步长[nm] |
10nm(搭配nanopwm或者线性驱动器) |
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行程 [mm] |
20 |
38 |
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重复定位精度 [um] |
±50nm |
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定位精度 [um] |
±150nm |
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平面度 [um] |
1um |
1.5um |
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直线度 [um] |
0.5um |
0.7um |
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最大速度 [mm/s] |
50mm/s |
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最大负载 [kg] |
6kg(采用气动恒力弹簧平衡) |
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