|
参数 | 项目 |
LMZ240-Z100 |
LMZ240-Z200 |
|
电机类型 |
双直线电机驱动 |
|
|
光栅分辨率 |
sin\cos 4.88nm（可选其它更高分辨率） |
|
|
电机推力 |
持续60N/峰值210N |
持续120N/峰值420N |
|
最小步长[nm] |
50nm(搭配nanopwm或者线性驱动器) |
|
|
行程 [mm] |
100 |
200 |
|
重复定位精度 [um] |
±150nm |
|
|
定位精度 [um] |
±300nm（干涉仪校准） |
|
|
平面度 [um] |
≤±2.5um |
≤±3.5um |
|
直线度 [um] |
1.5um |
2um |
|
最大速度 [mm/s] |
300mm/s |
|
|
最大负载 [kg] |
25kg(采用气动恒力弹簧平衡) |
|
Copyright © 武汉厘米自动化设备有限公司 All Rights Reserved. 地址：湖北省武汉市东湖高新区流芳路52号光谷芯中心2期A区
