参数 | 型号

M-U1LM200-100

-200

-300

-400

-500

-600

-800

有效行程 [mm]

100

200

300

400

500

600

800

光栅分辨率 [nm]

100nm（数字量标配）可选配其他型号光栅分辨率或1vpp模拟量

重复定位精度 [nm]

≤±0.5um

定位精度

未校准±4um/100mm （校准后可小于±1.5um）

直线度 [um]

±1.5

±2.5

±3.5

±4

±5

±6.5

±8

平面度 [um]

±1.5

±2.5

±3.5

±4

±5

±6.5

±8

电机推力

持续132N/峰值232N

最大速度

2m /s

最大加速度(空载)

3G

移动部分负载

6.5kg

水平负载 [kg]

40kg

侧面负载 [kg]

20kg

参数 | 型号

M-U1LM240-100

-200

-300

-400

-500

-600

-800

有效行程 [mm]

100

200

300

400

500

600

800

光栅分辨率 [nm]

100nm（数字量标配）可选配其他型号光栅分辨率或1vpp模拟量

重复定位精度 [nm]

≤±0.5um

定位精度

未校准±4um/100mm （校准后可小于±1.5um）

直线度 [um]

±1.5

±2.5

±3.5

±4

±5

±6.5

±8

平面度 [um]

±1.5

±2.5

±3.5

±4

±5

±6.5

±8

电机推力

持续220N/峰值440N

最大速度

2m /s

最大加速度(空载)

5G

移动部分负载

8kg

水平负载 [kg]

50kg

侧面负载 [kg]

25kg

参数 | 参数

M-U1LM320-100

-200

-300

-400

-500

-600

-800

有效行程 [mm]

100

200

300

400

500

600

800

光栅分辨率 [nm]

100nm（数字量标配）可选配其他型号光栅分辨率或1vpp模拟量

重复定位精度 [nm]

≤±0.5um

定位精度

未校准±4um/100mm （校准后可小于±1.5um）

直线度 [um]

±1.5

±2.5

±3.5

±4

±5

±6.5

±8

平面度 [um]

±1.5

±2.5

±3.5

±4

±5

±6.5

±8

电机推力

持续330N/峰值660N

最大速度

2m /s

最大加速度(空载)

5G

移动部分负载

12kg

水平负载 [kg]

50kg

侧面负载 [kg]

25kg