|
型号 |
M-LMT-XY-200X200 |
M-NFZ10 |
|
电机类型 |
三相无铁芯电机 |
音圈电机 |
|
光栅分辨率 |
默认100nm数字量（可选1vpp模拟量或者其他分辨率） |
|
|
电机推力 |
持续60N/峰值210N |
持续30N/峰值90N |
|
最小步长[nm] |
200nm |
200nm |
|
行程 [mm] |
200x200 |
10 |
|
重复定位精度 [um] |
±0.3 |
|
|
定位精度 [um] |
±1 |
±0.5 |
|
平面度 [um] |
10um |
8um |
|
直线度 [um] |
1um |
1.5um |
|
最大速度 [mm/s] |
500mm/s |
50mm/s |
|
最大负载 [kg] |
5kg（Z轴带气动恒力平衡配重） |
|
Copyright © 武汉厘米自动化设备有限公司 All Rights Reserved. 地址：湖北省武汉市东湖高新区流芳路52号光谷芯中心2期A区
