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超高精度XY气浮直线电机平台M-ABT-XY

超高精度XY气浮直线电机平台
  • 产品介绍

产品参数

参数项

参数值

电机类型

三相无铁芯电机

光栅分辨率

sin\cos 4.88nm(可选其它更高分辨率)

上轴电机推力[N]

持续90N 峰值315N

下轴电机推力[N]

持续219N*2 峰值750N*2

上轴空载加速度[g]

4.5G

上轴空载加速度[g]

3G

最小步长[nm]

10nm(搭配nanopwm或者线性驱动器)

行程 [mm]

360x360

重复定位精度 [um]

±0.15

定位精度 [um]

±0.5

平面度 [um]

±1

直线度 [um]

1.5

最大速度 [mm/s]

500mm/s

最大负载 [kg]

50kg

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