MRFC系列是面向光通信、半导体、生物医疗等前沿领域设计的超高精度运动平台产品线。该系列基于无铁芯直驱电机、高精度交叉滚子导轨与高性能编码器三大核心技术的深度集成，以纳米级定位精度、优异的动态响应与稳态控制为核心标志，为高端工艺装备提供了卓越的定位与运动执行解决方案。
高精度XYZ耦合平台是基于MRFC系列技术平台打造的高端多维运动系统，专为光通信耦合、精密装调等严苛工艺设计。它不仅仅是三轴的简单堆叠，而是一套经过系统性优化与测试的精密机构。
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直线电机模组 |
X 轴性能参数 |
Y 轴性能参数 |
Z 轴性能参数 |
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有效行程 mm |
110 |
110 |
60 |
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定位精度 μm |
±0.25 |
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重复定位精度 μm |
±0.1 |
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XY 正交性 μm |
≤15 |
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YZ 正交性 μm |
≤15 |
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编码器类型 NA |
Tonic 系列光栅（增量式模拟量） |
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实际负载 kg |
10+Z+Y |
10+Z |
10 |
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电机型号 NA |
CEI2-M3-S-TM-10-NC-NP-HP-00 |
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持续推力 N |
27 |
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峰值推力 N |
135 |
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持续电流 Arms |
1.6 |
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峰值电流 Arms |
8 |
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磁弹簧保持力 N |
27+27 |
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通讯方式 NA |
EtherCAT |
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驱动器 NA |
固高 - GSHD-0051DGL2-LM（客供） |
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导轨类型 NA |
交叉滚柱导轨（防蠕动系列） |
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拖链需求 NA |
无（建议弯曲半径大于 48mm） |
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线缆长度 m |
电机直出 1m+2m 延长线 |
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