MP 系列直驱压电平移台是一种专门用于一维 Z 向运动的压电定位设备。它采用压电陶瓷放大机构设计,具备小巧的体积、无摩擦运动和快速响应的特点。配备高精度传感器后,该平移台能够实现纳米级分辨率和高精度定位,确保了卓越的可靠性。在精密定位领域,压电平移台起到了关键作用。
■ Z 向位移 500μm
■ 可选闭环传感器
■ 承载 2kg
■ 真空版本可选
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型号 |
MP60Z500K |
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运动方向 |
Z |
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驱动控制 |
1 路驱动 |
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标称行程范围(0~120 V) |
400μm ±10% |
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标称行程范围(0~120 V) |
500μm ±10% |
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分辨率 |
4nm |
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空载谐振频率 |
290Hz±20% |
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承载能力 |
2Kg |
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静电容量 |
28.8μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
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重量 |
Kg±20% |