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Z轴压电平台

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产品介绍

MP 系列直驱压电平移台是一种专门用于一维 Z 向运动的压电定位设备。它采用压电陶瓷放大机构设计,具备小巧的体积、无摩擦运动和快速响应的特点。配备高精度传感器后,该平移台能够实现纳米级分辨率和高精度定位,确保了卓越的可靠性。在精密定位领域,压电平移台起到了关键作用。


产品特点

■ Z 向位移 500μm
■ 可选闭环传感器
■ 承载 2kg
■ 真空版本可选


产品参数

型号

MP60Z500K

运动方向

Z

驱动控制

1 路驱动

标称行程范围(0~120 V)

400μm ±10%

标称行程范围(0~120 V)

500μm ±10%

分辨率

4nm

空载谐振频率

290Hz±20%

承载能力

2Kg

静电容量

28.8μF±20%

材质

钢、铝

重量

Kg±20%