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高精度气浮式旋转台M-AB-R80

  • 产品介绍

产品参数

参数项

静止状态

工作状态

最小负载

径向

190N

95N

轴向

500N

250N

翻转

10Nm

5Nm

最小刚性

径向

60N/um

轴向

175N/um

翻转

0.12Nm/urad

同步运动误差

径向

100nm

轴向

100nm

翻转

1urad

质量

整体

3200g

转子

1300g

转动惯量

0.0009kg·m2

最大转速

15,000rpm

最大耗气量

20SLPM


产品外观尺寸及说明

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