光电耦合封装系统
分析测试探针系统
精密运动控制平台
光应用器件组件
精密减振系统
光纤熔接设备
无源/有源器件
光纤检测仪器

三轴直驱定位平台M‑XYθ‑350A

三轴直驱定位平台-直线电机
  • 产品介绍

产品参数

技术指标

规格参数

行程

X 轴:350mm Y 轴:350mm

最大加速度

X 轴:400mm/s Y 轴:400mm/s

重复定位精度

X 轴:±0.3μm Y 轴:±0.3μm θ 轴:±1.5arcsec

绝对定位精度

X 轴:±0.5μm Y 轴:±0.5μm θ 轴:±10arcsec

直线度

X 轴:±2μm Y 轴:±2μm

运行平面度

X 轴:±3μm Y 轴:±3μm

最大水平负载

10kg

光栅尺分辨率

0.1μm


在线客服