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三轴并联调平平台LM-TRI-VM-R5

三轴并联调平平台
  • 产品介绍

产品参数

规格

参数

Z轴最大行程

±5mm

Z轴分辨率

4.88nm

Z轴重复定位精度

±0.2um

位置稳定性

±20nm

最大速度

5mm/s

最大加速度

2m/s

θX/θY 最大行程

±2.5°

θ轴分辨率

0.15sec

θ轴重复定位精度

±1sec

最大速度

1°/s

最大加速度

20°/s^2

配重平衡方式

气动衡力平衡(最小气压0.1MPa 最大气压0.6MPa)

最大负载

20kg


产品外观尺寸及说明

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