1、高精度定位和测量：分析测试探针台用于对微小光学器件、集成电路和半导体元件进行精确定位和测量。通过高精度的机械系统和显微镜，实现对微小器件的纳米级定位和检测。
2、电气特性分析：测试并分析光学器件、电路和半导体元件的电气特性，如电阻、电容、电流和电压特性。用于研发、生产和质量控制等环节，帮助识别和解决电气性能问题。
3、光学性能分析：在光通信领域，探针台可以进行光学器件的耦合、对准和光学特性分析。适用于光纤耦合、激光器测试和光器件性能评估。
4、故障分析和排查：分析测试探针台能够识别和定位微小器件中的故障点，帮助工程师进行故障排查和修复。适用于新产品开发和现有产品的改进。
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分类 |
参数名称 |
参数值 |
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主机 |
样品台尺寸 |
4 寸 / 6 寸 / 8 寸 / 12 寸 |
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水平旋转 |
360° 旋转，微调 ±15 度，最小分辨率 0.1 度，带角度锁死装置 |
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XY 移动量 (手动) |
X:100mm Y:150mm |
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XY 移动分辨率 |
1mm |
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Z 轴移动量（手动） |
Z:10mm 最小分辨率 10μm / 刻度 |
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样品台材质 |
不锈钢（可选镀金及无磁材质） |
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样品台固定 |
真空吸附 |
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观察系统 |
Zoom 光学放大倍 |
0.8 ~ 5X |
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工作距离 |
80 ~ 115mm |
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光源 |
环形光源 |
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Camera |
1920x1080 分辨率（可选 4K 高清相机） |
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探针座 |
XYZ 移动量 |
X:12mm Y:12mm Z:12mm |
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移动精度 |
±0.5μm/±0.75/±0.1/±2μm 可选 |
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吸附方式 |
磁力吸附 |
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