1、材质统一为铝合金黑色阳极。
2、行程分为三档：±3.2 mm（25 型）、±6.5 mm（40/60 型）、±12.5 mm（80 型）。
3、精度：25 型直线度为 3 μm，其余型号均为 5 μm；偏摆精度保持一致（纵向 25″/30″，横向 15″/20″）。
|
型号 |
材质 |
台面大小 |
行程 |
直线度 |
纵向偏摆 |
横向偏摆 |
负载 |
重量 |
|
MVZ25 |
铝合金黑色阳极 |
25 × 25 |
±3.2 |
3 μm |
30″ |
20″ |
0.5 |
0.06 |
|
MVZ40 |
40 × 40 |
±6.5 |
5 μm |
25″ |
15″ |
1 |
0.22 |
|
|
MVZ60 |
60 × 60 |
±6.5 |
2 |
0.45 |
||||
|
MVZ80 |
80 × 80 |
±12.5 |
3 |
0.8 |
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