| 参数名称 | 参数值 | 参数名称 | 参数值 |
| 行程 | 20mm | 控制轴数 | 3 轴 |
| 台面尺寸 | 60×60mm | 主控制模块 | 运动控制卡 |
| 丝杠 | 精变研磨丝杠（直径未标注） | 脉冲输出方式 | 脉冲 + 方向 |
| 导轨形式 | 十字交叉滚柱 | 最高支持运动控制能力 | 16 轴独立或同步 / 插补运动控制 |
| 主要材料 | 铝合金 | 归零方式 | 用户原点归零、负限位归零、光学原点归零 |
| 表面处理 | 无 | 电压 | AC 220V+10% 50HZ |
| 分辨率 | 1μm | 功率 | 1KW |
| 最大速度 | 5mm/sec | 电机 | 真空用 5 相步进电机 |
| 重复定位精度 | ±3μm | 适用于真空度 | 1×10⁻⁵ Pa（原文 “1E10-5pa” 应为笔误，修正为标准科学计数法） |
| Z 轴承载能力 | 1kg |
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