| 分类 | 参数名称 | 参数值 |
| 主机 | 样品台尺寸 | 4 寸 / 6 寸 / 8 寸 / 12 寸 |
| 水平旋转 | 360° 旋转，微调 ±15 度，最小分辨率 0.1 度，带角度锁死装置 | |
| XY 移动量 (手动) | X:100mm Y: 150mm | |
| XY 移动分辨率 | 1mm | |
| Z 轴移动量（手动） | Z: 10mm 最小分辨率 10μm / 刻度 | |
| 样品台材质 | 不锈钢（可选镀金及无磁材质） | |
| 样品台固定 | 真空吸附 | |
| 观察系统 | Zoom 光学放大倍 | 0.8 ~ 5X |
| 工作距离 | 80 ~ 115mm | |
| 光源 | 环形光源 | |
| Camera | 1920x1080 分辨率（可选 4K 高清相机） | |
| 探针座 | XYZ 移动量 | X:12mm Y: 12mm Z: 12mm |
| 移动精度 | ±0.5μm/±0.75/±0.1/±2μm 可选 | |
| 吸附方式 | 磁力吸附 |
Copyright © 武汉厘米自动化设备有限公司 All Rights Reserved. 地址：湖北省武汉市东湖高新区流芳路52号光谷芯中心2期A区
