|
台 体 规 格 |
样品台尺寸 | 4英寸/6英寸/8英寸 |
| 观察窗口 | 8英寸 | |
| 探针接口 | 8个探针臂接口 | |
| 制冷方式 | 夜氮 | |
| 温度范围 | -60°至300° | |
| 温控精度 | 0.1K/0.01K/0.001K | |
| 稳定性 | ±1K/±0.1K/±0.01K | |
|
光 学 系 统 |
显微镜类型 | 单筒显微镜/体式显微镜/3D显微镜 |
| 放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X | |
| 移动行程 | 水平360度旋转，Z轴行程50.8mm | |
| 光源 | 外置LED环形光源/同轴光源 | |
| CCD | 200万像素/800万像素/4K像素 | |
|
探 针 座 |
X-Y-Z移动行程 | 2mm*12mm*12mm |
| 移动精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.5微米 | |
| 吸附方式 | 磁力吸附/真空吸附 | |
| 线缆 | 同轴线/三轴线/射频线 | |
| 漏电精度 | 10pA/100fA/10fA | |
| 固定探针 | 弹簧固定/管状固定 | |
| 接头类型 | BNC三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 | |
|
|
||
Copyright © 武汉厘米自动化设备有限公司 All Rights Reserved. 地址：湖北省武汉市东湖高新区流芳路52号光谷芯中心2期A区
