半自动耦合测试系统SCT - SA - 300E
参数项
参数内容
XYZ 行程
X:50mm;Y: 50mm;Z:10mm(XYZ 可选 20mm/30mm)
分辨率
0.05μm(MS1/20)
最大速度
20mm/S
重复定位精度
±0.5μm
θX、θY、θZ
θX±6°;θY±6°;θZ±8°
角度分辨率
0.0030°/ 脉冲(Full)
定制化说明
可根据用户不同需求定制化设计结构