样品吸附台尺寸
用于微型器件吸附/夹持固定可定制
吸附孔尺寸
0 . 5~2mm(可定制)
XYZ移动量
X:13mm Y:13mm Z:10mm
XYZ分辨率
10μm/刻度
R轴移动量
360°旋转
R轴分辨率
0.05°连续可调
真空吸附
流量-40L/min
温度范围
-5~100℃(可定制高温)
温度分布均匀性
±0.1℃
TEC冷却方式
水冷/风冷